石墨件使用寿命短的原因是什么

作者:jcshimo 发布时间:2021-03-05 09:16:45

在单晶硅的出产中常常会发现石墨件的运用寿命往往比预计的寿命要短的多,因为过多地替换石墨器材增加了石墨煅烧的次数和电能的耗费,除增加了企业出产成本的同时还限制了产能的有用发挥。
产生这种情况主要有以下几个方面的原因:
1 选材不对
因为石墨制品在热场中所起的作用各不相同,对其所用的原料也必然会有所不同。通常电极、连杆、加热器、加热器螺丝、石墨坩埚、导流筒、导流筒支撑环、保温筒,这些部件都应选用等静压出产的细结构高强度的石墨材料来加工,这样才干满足出产的实际需求。
其它如:底盘、反射板、防漏板、上盖板等器材可选用挤压式出产或是中粗结构的石墨来加工。前提是在出产中,能确保契合出产要求。

2 规划不合理
在石墨件的运用过程中有些看似石墨存在问题而产生的事端,其实好多都是因规划时就存在缺点而形成的。
因此在规划石墨件时除了要考虑材料自身的等级、规格以外,还必须充沛考虑到石墨件在运用中所需求的强度,并以此来确认其几何尺度。

3 运用方法不当
在很多的石墨件运用的问题中,石墨坩埚的破裂占有很大的比例,而形成这种情况的原因中,运用不当是不容忽视的主要原因。
正常情况下,1个18"或20"的石墨坩埚可用45炉左右,然而有十分多的石墨坩埚虽然在规划、选材、加工、煅烧中都未产生问题,但仍然运用寿命很短,且有些石墨坩埚破裂后,从断面来看远未到达其应有的自然损耗程度。