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直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。 热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。 石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。***常见的是18寸的石墨热场。 东莞市捷诚石墨制品有限公司生产的单晶石墨热场主要是22寸和24寸
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