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固化毡一体石墨导流筒
固化毡一体导流筒
【产品材料】 使用的是固化保温毡
【产品指标】 RFI3000
【密 度】 0.25-0.45g/cm3
【其 他】 金属杂质含量<75ppm,无挥发物,导热系数<0.4w/m.k
引导单晶炉内氩气的流动,减少了炉体上部的氩气流动,进而减少了SiO在单晶炉上部的沉积。导流筒内外两侧分流槽的设置改变保护气的流动形态,稳定了保护气的流动,降低气体的流动对单晶生长的影响,以上都有效提高了单晶生长的稳定性,提高产品稳定性
产品详情
石墨导流筒强度低,导热系数高,使用寿命短,成晶率低,运输,使用过程中易损坏,越来越难满足直拉单晶硅生产中对导流筒使用性能和可靠性能的要求。同国内其它厂家相比,我司生产的炭炭导流筒主要特点体现在以下两点:
1.梯度密度,整体设计,外层密度高(1.0-1.5g/cm3),芯部密度低(﹤0.5g/cm3);
2.有利于炉体内形成温度梯度,利于单晶生长,抗热震性能好,能耐气流冲刷;
3.减少炉体上部氩气流动涡胞,进而减少SiO在单晶炉上部的沉积
产品核心技术
1.设计与制备:根据制坯所选用原材料厚度和变形性能按导流筒尺寸与相关参数进行数学建模,计算不同位置上原材料所需形状和尺寸,合理下料,减少损耗;
2.整体导流筒工艺:整体性好,使用可靠性高,使用寿命长,更换操作方便,可提高成晶率,降低拉晶能耗10%以上。