单晶炉热场固化毡底盘

固化毡底盘
固化毡反射板
碳碳加热器
固化毡保温筒
碳碳坩埚
碳碳衬套
固化毡保温盖板
固化毡一体导流筒

固化毡底盘
【产品材料】  使用的是固化保温毡
【产品指标】  RFI2000
【密       度】  ≤0.2g/cm3
【其       他】  金属杂质含量<100ppm,无挥发物，导热系数<0.3w/m.k
采取热导率低的碳纤维材料，降低单晶炉热场中 的热损失，起到隔热保温的作用。（低密度）

产品详情
底板通常由碳纤维固化毡制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊结构，不仅保温效果好，能满足使用要求，更增加了导气孔，废气排放更通畅，相对于现有单晶炉节能可提高20%以上；同时使单晶炉中的熔硅和晶体具有较好的纵向温度梯度，利于提高单晶硅晶体生长的成品率；结构简单，安装、清理方便，提高了工作效率。
产品核心技术
底部保温板为用硬毡材料制成的底座，所述底座上部中心处设有圆形凹槽，圆形凹槽的侧面设有与埚托底部相适配的坡面，圆形凹槽的槽底与埚托之间设有内腔，圆形凹槽的槽底中心处有一个埚杆安装孔，底座侧面上设有2个以上的将内腔与外部连通的导气孔，底座的底部还设有加热器安装孔。这样设计的底部保温板重量小，大大降低了成本；具有特殊结构，不仅保温效果好，能满足使用要求，更增加了导气孔，废气排放更通畅；结构简单，安装、清理方便，提高了工作效率。