蓝宝石长晶炉石墨配件

热交换法(Heat Exchanger Method)
简称HEM 法。热交换法是一种为了生长大尺寸蓝宝石而发明的晶体生长技术。1970年Schmid和Viechnicki首先运用热交换法生长出大块的蓝宝石晶体。其原理是利用热交换器来带走热量，使得晶体生长区内形成一下冷上热的纵向温度梯度，同时再藉由控制热交换器内气体流量(He冷却源)的大小以及改变加热功率的高低来控制此温度梯度，借此达成坩埚内熔汤由下慢慢向上凝固成晶体之目的，图1为HEM法晶体生长过程简图。图2 a所示为HEM炉内结构简图，图3所示为HEM炉热场配置简图，图4为HEM炉鸟笼式石墨加热器，图5为HEM炉的电控简图。

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