碳碳加热器
炭炭加热器
【产品材料】 使用的是中高密度的碳碳复合材料
【产品指标】 3C150
【密 度】 1.5-1.6g/cm3
【其 他】 金属杂质含量<75ppm,抗弯强度150MPa,抗压强度150MPa
多晶炉用加热器结构新颖,横向发热 部对发热起主导作用,通过调整横向发热部的纵截面积,可以形成沿中心轴线方向温度变化的热场。炭炭材质加热器更有利于进行热辐射,可以更优更好的加热。
产品详情
加热器主要考核指标为密度和使用寿命,同石墨加热器相比,炭炭加热器的密度通过浸渍或者CVD等工艺,基本能满足客户要求,石墨很难做到,同时石墨加热器所需要的一般为性能优异的等静压石墨,价格昂贵,密度做不上去,寿命自然也难达标。炭炭加热器寿命提高5倍以上,发热效率也比石墨加热器有所提高。目前,国内相关厂家基本上都是采用炭炭加热器,工艺方面也相差不大。
产品核心技术
将已涂刷树脂的炭布或针刺毡经加压固化、炭化、CVD使产品密度大于1.5g/cm3,通过机加达到所需尺寸,并进行CVD碳化硅涂层处理。经过该工艺制备的炭炭加热器比石墨加热器原材料消耗降低50%以上,产品表面的碳化硅涂层各种气氛产品的侵蚀,使用寿命大大提高。
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